Fourniture d’un systeme de lithographie electronique

Objet

Fourniture d’un systeme de lithographie electronique

Description

Le présent marché comprend une partie ferme et 3 options telles que décrites à l'article 3.1 du projet de marché.

Durée

72 mois

Lieu d'exécution

Gif-sur-Yvette, 91191 · département : Essonne (91)

Variantes

non autorisées

Critères d'attribution

Prix évalué sur la base de la tranche ferme, de l’option 2 et du scenario relatif à la partie estimative sur devis préalables : 40 % ; Performance technique comprenant le respect des spécifications, la résolution et précision sur réseaux denses, stitching, overlay et débit/capacité de production : 30 % ; SAV portant sur les délais d’intervention dans le cadre de la garantie, de la maintenance et des prestations sur devis préalables : 10 % ; Interface et environnement logiciel : 20 %

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Code CPV

Machines et appareils microélectroniques, code 31712100

Prix habituel

montants de référence du code plus large 31710000 (Équipement électronique)

Code CPV

Machines et appareils à usage spécifique, code 31640000

Prix habituel

montants de référence du code 31640000

Nature

Fournitures

Procédure

Procédure ouverte