Upgrade et automatisation de la machine de pulvérisation cathodique magnétron « Plassys MP 450S »

Objet

Upgrade et automatisation de la machine de pulvérisation cathodique magnétron « Plassys MP 450S »

Description

L'objet de cette consultation porte sur l'automatisation et la mise en conformité CE électrique et de sécurité d’une machine de dépôt par pulvérisation cathodique PLASSYS-MP 450S qui a été acquise en 2002 par l'Institut FEMTO-ST (UMR CNRS 6174). L’upgrade de la machine MP 450S permettra de pérenniser cet équipement en remplaçant le système actuel par un système avec automate et logiciel de pilotage et de supervision, tout en automatisant les mouvements mécaniques clés (cache, porte-substrat, etc.). Cela inclura le remplacement de certains de ses sous-ensembles obsolètes. Si besoin l’équipement pourra être transféré dans les locaux du titulaire pour cette remise à niveau. Le transport de l’équipement sera alors à la charge du titulaire, qui devra préciser dans son offre la durée d’indisponibilité résultant de ce transfert. L'équipement est destiné à une utilisation dans le cadre de projets de recherche au sein de la centrale de technologie MIMENTO de FEMTO-ST.

Lieu d'exécution

BESANCON, 25000 · département : Doubs (25)

Variantes

non autorisées

Critères d'attribution

Critère prix : 34 % ; Valeur technique : 46 % ; Délai d'exécution et d'indisponibilité de l'équipement : 10 % ; Développement durable : 10 %

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Code CPV

Matériel de télémétrie et de commande, code 32441200

Prix habituel

montants de référence du code plus large 32400000 (Réseaux)

Nature

Fournitures, Services

Procédure

Procédure ouverte