Equipement d'inspection optique automatique 300mm

Objet

Equipement d'inspection optique automatique 300mm

Description

Pour ses activités de recherche visant au développement des technologies FD-SOI 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement 300mm pour de l’inspection optique face avant, capable de détecter des défauts d’une taille minimale de 300nm pour de l’inspection microscopique, et des tailles de défauts supérieurs à 10µm pour de l’inspection macroscopique. L’équipement devra être équipé de plusieurs lentille optique et pourra traiter des plaques 200mm et 300mm d’épaisseur variable. Il devra pouvoir traiter des fichiers au format spécifique KLARF et permettre de la revue et de la classification de défaut. Le marché comporte : - L'équipement de base, - Des options à chiffrage facultatif : Option 1 : Configuration hardware capable de traiter des plaques transparentes Option 2 : Transformateur électrique Option 3 : Formation maintenance de niveau 1 Option 4 : Formation Maintenance de niveau avancé Option 5 : Extension de garantie (1 année supplémentaire)

Durée

12 mois

Lieu d'exécution

grenoble · département : Isère (38)

Variantes

non autorisées

Critères d'attribution

Le prix n'est pas le seul critère prévu pour cette consultation. L'ensemble des critères figure dans le règlement de la consultation.

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Code CPV

Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes, code 31712000

Prix habituel

montants de référence du code plus large 31710000 (Équipement électronique)

Nature

Fournitures

Procédure

Procédure négociée