Prestation de jouvence du système de pulvérisation cathodique magnétron de marque EREMAP

Objet

Prestation de jouvence du système de pulvérisation cathodique magnétron de marque EREMAP

Description

Le présent marché consiste à rénover un bâti de pulvérisation pour le dépôt de couches minces sous vide par pulvérisation cathodique magnétron acheté par Aix-Marseille Université en 2003. L'équipement est composé d'une chambre et son châssis ainsi qu'une tour de commande. Toute la partie de puissance, de contrôle et de supervision se trouve dans la tour de commande. La panoplie de refroidissement et tous les sous-ensembles (dépôt, contrôle de pression, pompage…) sont intégrés à l'ensemble chambre châssis. Les pompes primaires sont indépendantes. La chambre est équipée de 3 sources confocales et permet de réaliser des co-dépôts en utilisant ces sources simultanément. De plus, la rotation du porte substrat assure une bonne homogénéité des dépôts (5% sur un substrat de 100mm). Ce porte substrat est chauffant avec polarisation RF. La description des prestations est décrite dans le CCTP.

Lieu d'exécution

Marseille, 13013 · département : Bouches-du-Rhône (13)

Variantes

non autorisées

Volet social ou environnemental

environnemental

Critères d'attribution

0,6Critère 1 : Valeur technique de l'offre (sur 40 points) ; Pondération Prix 40%

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Code CPV

Services de réparation et d'entretien, code 50000000

Prix habituel

montants de référence du code 50000000

Nature

Services

Procédure

Procédure ouverte

Montant estimé

205 000 € hors TVA, déclaré par l'acheteur dans cet avis