Amélioration d'une machine de traitement par plasma froid basse pression : mode de pompage, type de générateur, asservissement, suivi en temps réel et enregistrement des paramètres du procédé.

Objet

Amélioration d'une machine de traitement par plasma froid basse pression : mode de pompage, type de générateur, asservissement, suivi en temps réel et enregistrement des paramètres du procédé.

Description

Le CRITT Matériaux Innovation est équipé d'une machine plasma froid basse pression permettant de traiter les surfaces des matériaux pour divers applications (adhésion, décontamination, fonctionnalisation de surface). Aujourd'hui, le CRITT Matériaux Innovation, souhaite améliorer le fonctionnement de cette machine en termes de fiabilité en apportant certaines modifications. Les principaux organes à modifier sont : le mode de pompage, le type de générateur, l'asservissement ainsi que le suivi en temps réel et l'enregistrement des paramètres du procédé. Le générateur de type radio fréquence pulsé, doit avoir une puissance maximale de 1 kW permettant un refroidissement à air. La boite d'accord appairée à ce générateur doit être adaptée à l'enceinte avec une plage de fonctionnement assez large des puissances appliquées, pouvant aller jusqu'à 1 kW. Le pompage doit nécessairement se faire avec une pompe sèche avant de donner le relais à une pompe turbo moléculaire déjà en place permettant d'obtenir un vide secondaire. Tous ces éléments communiquent par réseau Profibus, géré par l'automate existant. Ce dernier permet, à l'aide d'une interface homme-machine, de contrôler d'autres éléments, notamment les débitmètres des gaz à ioniser, les jauges de pressions et de températures ainsi que les cycles process. L'automate doit permettre l'intégration d'un système annexe d'injection de vapeur d'un précurseur chimique. L'objectif final et de tester le bon fonctionnement de la machine avec différentes recettes de traitements par plasma (temps de traitement, puissances, modes de traitement et combinaisons des gaz).

Début prévu

1er avril 2025

Lieu d'exécution

Charleville-mezieres, 08000 · département : Ardennes (08)

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Code CPV

non renseigné

Nature

Travaux

Procédure

Procédure adaptée