Achat d'une chambre de préparation de surface pour l'institut FOTON - équipe OHM à l'INSA Rennes

Objet

Achat d'une chambre de préparation de surface pour l'institut FOTON - équipe OHM à l'INSA Rennes

Description

Cet achat s’inscrit dans le cadre du projet de recherche Equipex NanoFutur. Il a pour objectif de fournir et d’installer une chambre dédiée à la préparation des substrats et à l’étude des surfaces. Cette chambre devra être connectée au cluster d’épitaxie III-V/Si sous ultra-vide en cours d’acquisition.Cet équipement permettra de préparer avant épitaxie, les substrats de Silicium et/ou structures à base de silicium, de semiconducteurs III-V et d’oxydes. La qualité des surfaces obtenues devra pouvoir être caractérisée in situ. Des cellules à effusion et des cellules plasma hydrogène et azote, ainsi que des instruments de caractérisation in-situ seront implémentés par la suite sur la chambre de préparation.

Volet social ou environnemental

environnemental

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Code CPV

Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes), code 38000000

Prix habituel

montants de référence du code 38000000

Nature

Fournitures

Procédure

Procédure ouverte

Montant estimé

135 000 € hors TVA, déclaré par l'acheteur dans cet avis